【技術突破:導模法鑄就"硬核"品質】
藍寶石管(Al?O?單晶)因其優異的耐高溫、抗腐蝕及光學穿透特性,是GaN外延生長的首選襯底材料。區別于傳統提拉法,我院采用的導模法(EFG)技術可實現藍寶石管的精準尺寸控制與連續化生產,產品純度達99.999%,晶格完整性遠超行業標準。配備2100°C真空鎢絲退火爐、X射線定向儀等精密設備,我們可提供直徑2-12英寸、壁厚0.5-10mm的定制化藍寶石管產品,滿足從LED芯片到功率半導體的全場景需求。 【應用場景:從5G基站到新能源汽車】
在半導體領域,藍寶石管作為SOI(絕緣體上硅)襯底,能有效降低晶體管電容效應,使器件運算速度提升30%以上,功耗降低40%。在光電子領域,基于藍寶石管的GaN基LED器件已占據全球80%市場份額。隨著5G毫米波射頻器件、新能源汽車充電樁對高頻、高功率器件的需求激增,大尺寸藍寶石管更成為12英寸晶圓制造的核心載體——這正是我院重點攻關的戰略方向。 【產學研融合:打造長三角晶體材料高地】
坐落于溧水高鐵新城,研究院擁有2100mm2超凈廠房及全鏈條晶體生長加工能力。依托同濟大學晶體材料學科優勢,我們不僅提供標準藍寶石管產品,更可為半導體企業定制熱交換法、提拉法等特殊規格管材。2020年獲評高新技術企業以來,我院藍寶石管產品已通過多家頭部芯片企業驗證,廣泛應用于MOCVD設備、真空鍍膜腔體及高溫反應器窗口等關鍵部位。
【未來展望:助力國產替代】
面對半導體材料國產化浪潮,南京同溧晶體材料研究院將持續深耕藍寶石管制備技術,推進8-12英寸大尺寸產品量產,為GaN-on-Sapphire功率器件、Micro-LED顯示技術提供關鍵材料支撐。選擇我們的藍寶石管,就是選擇更穩定的晶格匹配、更低的位錯密度、更長的器件壽命!